时间:2024-07-11 07:00:21
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半导体工艺中rtp是什么
半导体工艺中的RTP(Rapid Thermal Processing)是一种快速热处理方法,具有升温速度非常快和保温时间很短的特点。升温速率能达到10~100摄氏度每秒。RTP通常采用红外卤素灯或电阻棒加热,加热时电流很大,功率很大。在半导体制造中,RTP可以用于离子注入后杂质的快速活化、快速热氧化等,这种方法可以大大节省热处理时间,降低生产成本。