机械陀螺仪的工作原理
时间：2024-10-14 12:00:22
导读：简述微机械陀螺仪的工作原理 微机械陀螺仪（MEMS gyroscope）的工作原理是利用科里奥利力。科里奥利力是指旋转物体在有径向运动时所受到的切向力。微机械陀螺仪......
简述微机械陀螺仪的工作原理
微机械陀螺仪（MEMS gyroscope）的工作原理是利用科里奥利力。科里奥利力是指旋转物体在有径向运动时所受到的切向力。微机械陀螺仪在硅片衬底上加工出一个可转动的结构，通过驱动物体不停地来回做径向运动或震荡，产生科里奥利力。横向的电容板测量由于横向科里奥利运动带来的电容变化，因为科里奥利力正比于角速度，所以由电容的变化可以计算出角速度。
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